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研究開発用
100mm・200mm・300mm対応
マニュアルタイプ
　

≪画像はLGP-712≫　

300mm超薄厚ウェーハ対応
全自動研削・研磨
テープマウント
剥離一体型装置

≪画像はCMG-802XJ≫　

白色LED市場及び車載向け
パワーデバイス市場向けに
開発された生産用研削装置
　

≪画像はDMG-6011V≫　

片面ラッピング/ポリッシング


　

≪画像はLLP-36≫　

ウェーハ300mm対応
手動式平坦度測定装置
全自動平坦度測定装置
　

≪画像はWafercom 300 Spirit≫　

大規模全自動
ウェーハ分類システム
簡易多目的移載機
　

≪画像はSORTER 3000≫　

ﾀﾞｲﾔﾓﾝﾄﾞｽﾗﾘｰ＆ｺﾝﾊﾟｳﾝﾄﾞ
各種ラップ定盤　

　

≪画像はﾀﾞｲﾔﾓﾝﾄﾞｽﾗﾘｰ&ｺﾝﾊﾟｳﾝﾄﾞ≫