ＬＧＰ−６１２
実際に生産ラインで使用されている全自動のスピンドルを採用した実験用ＣＭＰ装置です。 Ｉｎ−Ｓｉｔｕのドレッシングは勿論、ＭＥＭＳ、デバイス、ウェーハにも対応します。２００ｍｍウェーハ対応装置です。
LapmasterSFT Corp.
